※ 引述《cpuos (D.O.A life.)》之铭言： : ※ 引述《FEIASK (FEI)》之铭言： : : 如题 今天去拍了场发射电子显微镜 有一些问题想要发问 : : 1. 想请问sem有个附件桶子 是要加液态氮的 : : 请问那液态氮是要干嘛用的? 那个好像是跟edx的侦测器连在一起的 : : 是要降低edx的侦测器温度吗? : 液态氮桶是冷却用在打EDX时X-ray Detector需要在极低温度下始可操作 : ；另外二次散射电子会有多余的热!也可利用LN2冷却 这个部分的回文是正确的 : : 2. 我看操作员在拍的时候 有调整probe current : : 听操作员说是电子束电流 请问这电流是跟灯丝电流有什麽关系? : : 因为之前去拍热游离的sem是直接把电流强度设定在第二个高峰 : : 这种的是直接调完灯丝电流後 就可以拍了 并没有可以调整电子束电流 : : 是场发射这种sem才能调吗? : 电子束电流参数与影像品质相关 电子束电流越大，电子束直径越大(试片易受损) : ;反之则相反，但此参数仍需交互考量其他参数如: 加速电压大小， 工作距离 : PS. 一般来说实验室通常不会给人调电子束电流 (有点像原厂设定)随使用时间多 : 电子束电流会变小，届时再叫厂商来换修调整 这边回文需要部分修正, 首先, 所谓的probe current并不是两位所理解的"电子束电流" 你们认为的"电子束电流"是指一开始由电子枪所引出的电流, 我们称为emission Current 而Probe current则是emission current穿过电磁透镜以及物镜光圈之後的电流 调整Probe current等同是调整穿过的电子束流通量, Probe current提高: 电磁透镜聚焦能力降低, 影像解析度降低 而电子通量提高 (即辐照到样品表面的电子数量增加) Probe current降低: 电磁透镜聚焦能力提高, 影像解析度提升 而电子通量降低 (即辐照到样品表面的电子数量减少) 所以场发射电子显微镜要做其余分析(EDS or EBSD之类), 都需要提升probe current 来获取较高的电子通量打在样品表面, 而使得分析的回馈讯号能够提升 而热灯丝式的SEM一样有probe current, 但是他的名称就更具体了, 叫做"Spot Size" 所以你直接可以从名称知道它的物理意义, 也就是打到样品表面的电子束的"Spot"大小 : : 3. 我看操作员把灯丝电流设定在10uA : : 是有没有那麽精准 我问他能不能再把灯丝电流加上去 他说不行耶 : 主要原因是灯丝电流达一阀值(可操作点)时，电子束电流将不会再上升 : 加大灯丝电流只会 做多做热功 减少灯丝寿命，一般来说此参数值随机台设定而定 : 另一种说法与２.交互应证即:当电子束电流随使用时间变小时，也可适当调整灯丝 : 电流，使照片影相品质不受长时间使用影响 : : 奇怪了 因此想上来问问看 : : 以上几个问题 麻烦大家多指教 我是这方面的外行人 拜托打大家指导了 感谢! 这个部分的回应是正确的, 每一种不同的灯丝有不同的操作点 10uA的电流量是绝对精准的, 看这个电流量大小我推测这一台应该是冷场发射式的SEM 因为这种type的SEM的引出电流(emission current)是由外加高偏压於极细的探针上 所引出的电流, 其大小可由外加偏压精确控制 一般热灯丝或热场发射的SEM大多操作emission current在50~80uA之间, 电流量大适合做特性分析, 但解析度会稍差, 解析度最好则是in-column式低working distance (WD<5mm)的冷场发射SEM 希望以上资讯对你有帮助! --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 140.96.45.151 ※ 编辑: mrjoker 来自: 140.96.45.151 (03/14 18:40)