作者ak88456lq (天意难违)
看板ChemEng
标题[问题] AZO薄膜电阻值 vs. 时间
时间Sat Aug 4 19:43:14 2012
在实验中发现
以射频磁控溅镀AZO薄膜 膜厚为325 nm
沉积参数为 功率为80 W
沉积压力为5*10^-3 torr
基板温度为 室温
溅射气体 氩气
刚沉积完的薄膜电阻值为12*10^-4 Ohm-cm
随着沉积後的天数增加电阻值逐渐下降，并逐渐趋於稳定，
薄膜暴露环境为"防潮箱"中(确定有防潮功能)。
从物理现象解释是什麽原因造成的?
本人资质太差，不知道该如果去解释该现象，
麻烦高手解惑~"~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 111.246.182.101
1F：推 pttresident:没试着去找资料、文献吗？0.0 1.162.43.44 08/05 16:43
2F：→ pttresident:会不会表面因大气的氧而电阻上升? 1.162.43.44 08/05 16:44
3F：推 a1317775:楼上原PO说是下降ㄟ 所以才不好找吧 111.241.0.89 08/05 22:02
4F：→ isco:先确定你的防潮箱是否有作用吧. 电子式温湿 59.104.146.251 08/05 22:10
5F：→ isco:度计拿来量一下 59.104.146.251 08/05 22:10
6F：→ isco:不然将sample拿去抽真空去水气再量一次 59.104.146.251 08/05 22:12
7F：→ ak88456lq:回楼上：上升的文献很好找了，大多把它 1.170.233.79 08/05 23:39
8F：→ ak88456lq:归咎於薄膜产生氧化，进而导致电阻值上 1.170.233.79 08/05 23:40
9F：→ ak88456lq:升。但我的量测结果是下降，我老板说也 1.170.233.79 08/05 23:40
10F：→ ak88456lq:是可以解释，依他的个性会从薄膜物理的 1.170.233.79 08/05 23:41
11F：→ ak88456lq:角度去思考它的合理性，但我资质太差找 1.170.233.79 08/05 23:41
12F：→ ak88456lq:不出合理的原理去解释。 ~"~ 1.170.233.79 08/05 23:42
13F：推 pttresident:抱歉，看错；有确认isco说的防潮吗？ 140.118.181.80 08/06 11:02
14F：→ ak88456lq:回楼上有确认过了，有防潮作用。 140.134.29.100 08/06 15:25
※ 编辑: ak88456lq 来自: 140.134.29.100 (08/06 15:28)
15F：推 pttresident:那可能要先确认是否大气影响，或是大 1.162.43.44 08/06 23:35
16F：→ pttresident:气中哪种气体的影响 1.162.43.44 08/06 23:35
17F：→ pttresident:如存放在高真空环境下是否也同样结果 1.162.43.44 08/06 23:36
18F：→ isco:sample抽真空去水气候量应该就好了 59.104.146.251 08/07 00:21
19F：推 FindScarlett:AZO是否有室温自身退火的特性?140.114.203.200 08/17 20:30
20F：→ FindScarlett:纯金属随个室温存放确实会有电阻下降140.114.203.200 08/17 20:31
21F：→ FindScarlett:的趋势140.114.203.200 08/17 20:31
22F：→ ak88456lq:回楼上，这个就需要查文献资料看看罗，111.246.180.247 08/19 10:01
23F：→ ak88456lq:可是依我的印象，氧化金属跟金属还是有111.246.180.247 08/19 10:02
24F：→ ak88456lq:差的，物理特性结果应该是不一样。111.246.180.247 08/19 10:03