作者lrsangah01 (看破世界 世界是黑暗的)
看板ChemEng
标题[问题] ITO湿蚀刻
时间Mon Oct 8 17:00:51 2012
最近需要做这件事，我需要把ITO薄膜做出粗糙度，
像是大陆桂林那种石灰岩地形，一根一根的，
但是湿蚀刻的方是越简单越好，不要碰黄光，
请问有推荐的硕论有实验步骤可以参考吗?
现在有点无头苍蝇，不知如何是好，
咪听也快开天窗了。
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◆ From: 140.125.31.215
1F：→ whiskycola:要做线路图案才要碰黄光吧 做粗糙度 111.255.91.202 10/09 21:04
2F：→ whiskycola:就选择适当的蚀刻液泡一泡就好 111.255.91.202 10/09 21:06
3F：→ isco:湿蚀刻式等向性的,ITO上面又没光阻你认为呢 61.59.224.34 10/09 22:57
4F：→ lrsangah01:isco的意思是只会造成ITO薄膜变薄 140.125.31.215 10/10 17:46
5F：→ lrsangah01:而不会粗糙吗? 140.125.31.215 10/10 17:46
6F：→ isco:没错114.136.208.254 10/10 20:29
7F：→ isco:读硕士不是要自己找文献吗? 你这样太.....114.136.208.254 10/10 20:31
8F：→ whiskycola:还是会变粗糙 做AFM就看得出来 111.255.83.141 10/10 20:40
9F：→ whiskycola:不然可以用蚀刻膏看看 或许更有效果 111.255.83.141 10/10 20:41