作者Ares645 (Ares.M)
看板ChemEng
标题Re: [材料] 关於XPS的峰值校正问题!!
时间Sun Sep 22 17:41:25 2013
※ 引述《grayalien01 (怕冷企鹅)》之铭言：
: 如题
: 最近尝试要把送样的XPS试片数据fitting峰值
: (样品为氮化锆、氮氧化锆、氧化锆等薄膜)
: 我去查了一下，好像fitting之前要做校正
: 我的试片有先做Ar预溅击约5分钟，所以应该是用Ar峰值做校正(242 eV)
: 比方说试片(一)
: 我去查了一下数据，Ar的高解析能谱图，XPS管理员帮我简易估了一下大概是242.612 eV
: (所以我全部的数据的能峰值照理说都要减掉0.612 eV)
: 可是当做完校正後(扣完0.612後)，我发现试片(一)的图要fitting时反而变得很诡异
: 所fitting出来的能峰值都跟文献差的更远，不校正好像还比较接近文献值= =
: (如果不要校正fitting出来的峰值位置还比较接近我搜寻的文献)
: 我尝试过把Ar本身的能谱图拿出来fitting，想说管理员粗估可能会不准
: 结果一fitting出来是243.25，偏了1.25 eV更多= =|||
: (Ar我只放一根peak去fitting，虽然是用Ar溅击，但其实Ar的高解析能谱图强度也不高)
: (Ar的高解析能谱的图很粗糙(rough)，可以看到很多锯齿)
: 所以...到底是...
: (1)现在我是不是乾脆都不要校正直接fitting好像还比较好...= =
: (2)改用碳(C 284.6 eV)去校正，可是都预溅击过了用C校正会准吗??
: (3)我校正方式错了
: (4)文献一堆人根本也忘了校正就fitting了??
: 恳求各位高手帮忙了~QQ
Ar通常用来先对表面蚀刻
以降低外在环境之影响
大多以C做校正
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1F：推 iloveeating:Ar可以蚀刻?? 会很强的亲蚀吗 114.43.78.87 09/23 11:51