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看板Chemistry
标题[实验] ZnO与LNO蚀刻选择性
时间Sat Jan 24 14:51:44 2015
帮朋友代PO~
小弟想请教各位大大高手
目前在做微桥结构的研究
由於电极是LNO(LaNiO3)牺牲层是ZnO
想请教各位大大高手们有什麽蚀刻液可以蚀刻ZnO但却不会影响LNO的吗?
目前尝试过HCl、H2PO4、FeCl3 都不行
感恩~
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