作者b10238056 (cyhuang)
看板Chemistry
标题Tio2 镀膜请益
时间Sat Apr 7 16:03:25 2018
请问各位大大们
目前我使用RF sputter 溅镀二氧化钛薄膜
靶材是99.99 二氧化钛
基板使用 氧化铝（Al2O3）基板与载玻片基板
将二氧化钛溅镀在两基板上
以550度c大气退火
并利用XRD晶相分析
发现锐钛矿并没有显现在氧化铝基板上
而载玻片确实是有锐钛矿的
（在镀膜与退火 都是同步进行）
请问是因为氧化铝跟二氧化钛晶格不相容吗？还是有什麽可能原因导致的呢？
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1F：推 IZO: 1.确认两种材料的XRD peak有无overlap 04/12 14:48
2F：→ IZO: 2. 你是使用低掠角XRD吗 04/12 14:49
3F：推 IZO: 3.你的TiO2 XRD peak intensity会不会很弱，被氧化铝的peak盖 04/12 14:51
4F：→ IZO: 掉？ 04/12 14:51
5F：→ IZO: 4. 载薄片是amorphous structure吗 04/12 14:52