作者pttbonfire (总是被垫假的)
看板Electronics
标题[问题] 离子布植
时间Thu Dec 29 18:12:09 2016
在半导体制程离子布植时 ,为什麽打入的是正离子还是可以形成N-type,
例如使用AsH3气体,用电将打出As正离子(As原子是5族元素),在打入矽中,
为什麽还是可以形成N-type,不是已经少一个价电子了吗?
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