作者zero06795 (zero06795)
看板Electronics
标题[问题] MIM电容 容值计算
时间Wed Aug 16 20:49:33 2017
各位先进好
问题一：想请教MIM 电容容值计算公式与平板电容计算公式是否相同；公式：C = ε0 A
/ d。
问题二：有一MIM电容量测容值约590pF,A=面积97x280=27160um(平方）、d=isolation th
ickness(SiN 0.1um)、ε0 = 8.85x10-12F/M
如果依平板电容计算公式 我怎麽都算不出约590pF的电容值，请问是我用错公式或者那里
有问题呢？
麻烦请指点 谢谢（手机发文未排版请见谅）
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1F：推 boson5566: 1.相同 2.介电质的介电系数没有乘进去(ex: SiO2=3.9) 08/16 21:10
2F：→ zero06795: Google 大神告诉我 SiN 介电常数8，但相乘後除d我还是 08/16 21:20
3F：→ zero06795: 得不到约590pF,谢谢boson5566大大回答 08/16 21:20
4F：推 kameng: 问题2确定没有错?CMOS的话单位电容2fF/um^2已经算高了 08/17 10:03
5F：→ kameng: 这面积的cap应该不会有这麽大的电容值的 08/17 10:03