作者InoueToro (InoueToro)
看板Electronics
标题[问题] CMOS乾蚀刻设备的电位请教
时间Thu Mar 15 15:34:59 2018
请问有没有版友晓得
CMOS乾蚀刻IMD, Oxide时, 蚀刻Al金属时,
与WAFER碰触的载台，其电位偏压在正电位还是负电位
谢谢
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