作者cyclohexene (好累)
看板Electronics
标题[请益] 音频量测
时间Sun Aug 5 15:01:22 2018
客户丢给我一个project请我评估能不能做
问题如下
某晶圆厂洗涤制程後段
需要把wafer 用物理式方式弄乾
故用旋转方式
类似图书馆推车排书方式
一片一片立起来放进一个圆柱型腔体
800-1000rpm转速去run 8-10min
只是在run的过程中wafer有时会因为高速
而脱离原本位置导致与腔体壁碰撞而碎裂去影响到其他好的wafer
客户想用音频监控方式去监测是否有异常状况
1.正常旋转下音频就是固定
2.有异常音频会突然变异
再透过傅利叶转换得到波型
想请教板友们这该如何下手？
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 42.77.78.124
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Electronics/M.1533452485.A.2B8.html
1F：推 qekezfeed: 也不知道是磁波还是音波 不过不舒服的时候 耳朵内的高08/05 15:07
2F：→ qekezfeed: 音确实听起来不一样08/05 15:07
3F：→ qekezfeed: 也不知道是不是心理影响08/05 15:07
会用一个sensor贴在chamber wall去量测
只是这样抓到的音频不晓得如何去定义
这可能要由客户端去抓了
※ 编辑: cyclohexene (42.77.78.124), 08/05/2018 15:16:32
4F：推 corydoras09: 你有在FB问过?08/06 13:01
5F：→ corydoras09: 认错了，好像不太依样@@08/06 13:02
6F：→ HiJimmy: 重量会不会比较好抓? 碎掉就变轻了，而且腔体加大避免反08/06 17:55
7F：→ HiJimmy: 弹这样会不会比较快08/06 17:55
8F：推 NTUOnline: 音频可以做啊,只是成本问题...08/07 02:23
9F：→ NTUOnline: 然後还有判断问题...08/07 02:23
10F：→ NTUOnline: (当然如果只是要监测到,不管哪片立刻停下来不难就是XD)08/07 02:24
11F：→ NTUOnline: 之前好像有人比较过贴sensor和架麦克风收音,麦克风收音08/07 02:26
12F：→ NTUOnline: 好很多(但成本也同时上升很多XDDD)08/07 02:26
13F：→ NTUOnline: 干嘛不用加速规或光学方法去看XD 客户这麽爱用音频哦?08/07 02:28
14F：→ NTUOnline: 不然上面HiJ大的重量也不错啊~~~XDDD08/07 02:29
加速规跟配合厂商讨论过是一个选项
光学方式...因为sensor没办法装在chamber 内 光学理论上无法
音频是客户提出来的阿XDDDD
重量....这倒是没想过 再跟客户讨论看看！
※ 编辑: cyclohexene (42.77.252.153), 08/07/2018 19:31:39
15F：推 nissptt: 换卡匣不太可能，这和"萝卜特"綑绑了。光学可能比音频 08/07 20:08
16F：→ nissptt: 简单点。做在外面，对卡匣。晶圆算小了，看过面板的spin 08/07 20:08
17F：→ nissptt: table才叫震撼。 08/07 20:08