作者lottecake (乐天小熊饼乾)
看板Master_D
标题问一个微影的问题
时间Tue Feb 6 18:02:28 2007
如果要搜寻用微影制程制造出来的结构(不是一层film喔)
就是看的到表面被e-beam or 蚀刻所产生的'构造'
例如可能是金字塔或是凹半圆形的外观
keyword除了lithgraphy and pattern外,还有什麽可以打的呢?
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1F：推 sort897:去查EIPBN的paper，应该会有你想要的资讯！ 02/06 23:24