作者POGIPOGI (POGIPOGI)
看板Master_D
标题Re: 想请教关於微机电或是半导体专长的人
时间Fri Mar 30 17:07:00 2007
※ 引述《rummel (rummel)》之铭言：
: 没有人规定绝缘层一定要用Si3N4
: 台积电现在也有在用SiO2做绝缘层
: 重点是你为什麽要用SiO2做研究
: 另外,氧化层的二氧化矽的结晶与玻璃的结晶是不同的
: ※ 引述《s75287 (弹珠汽水)》之铭言：
: : 想问一下一般在做绝缘层时候都是镀上矽的氮化物
: : 一般是Si3N4
: : 但是不会用 Si的氧化物做绝缘层 及SiO2
: : 只用来做蚀刻阻挡层?
: : 请问这是为何??
: : 因为做氧化物比较方边>_<
: : 我想用氧化物做绝缘层...Q___Q
: : 但是在文献上面都查不到有人说可以也没有人这样做(较方便却没人做一定有原因)
: : 二氧化矽是玻璃一般大家也是拿来做度电极用的阿
因为微机电多用到悬浮结构 刚好牺牲层多用 SiO2来做
当你用 BOE 或是 HF release结果就好笑了
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.96.196.16