作者fluid (那是啥)
看板Master_D
标题Re: 想请教关於微机电或是半导体专长的人
时间Sat Mar 31 00:24:14 2007
※ 引述《POGIPOGI (POGIPOGI)》之铭言：
: ※ 引述《rummel (rummel)》之铭言：
: : 没有人规定绝缘层一定要用Si3N4
: : 台积电现在也有在用SiO2做绝缘层
: : 重点是你为什麽要用SiO2做研究
: : 另外,氧化层的二氧化矽的结晶与玻璃的结晶是不同的
: 因为微机电多用到悬浮结构 刚好牺牲层多用 SiO2来做
: 当你用 BOE 或是 HF release结果就好笑了
用SiO2做绝缘层有缺点
就是它阻挡水气的效果比较差
而且常常含有硷金族离子
会吸引负电荷影响电性特性
所以才会用nitride当绝缘层
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◆ From: 220.140.6.135