作者iamfly (长痛不如短痛!!!!)
看板Master_D
标题[请益] 有关MFC(质量流量控制器)
时间Fri Mar 7 15:59:15 2008
请问一下，MFC使用不同的气体，是否需做调整??
实验室刚购入一台MFC(上面写NO2用)
可是我所使用的气体，不是纯的NO2，而是浓度只有100ppm的NO2(NO2与纯空气混合)
那我需要如何调整MFC??(有换算公式?或不需调整?)
另外~如果我要通入的气体改成CO(100ppm)，那可以直接使用?或亦须调整?
(老师说没钱再另外买一台MFC，所以希望来问看看是否能使用同一台MFC)
谢谢
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◆ From: 140.122.71.6
1F：推 aaggee:要调C/F值 03/07 17:51
2F：推 IZO:利用Conversion Factor来换算即可! 严谨一点的话 再用造泡法 03/11 20:59
3F：→ IZO:或是是压力上升法来校正 03/11 21:00