作者nikenike (nikenike)
看板Master_D
标题[请益] 溅镀Al nano-film
时间Sat Apr 26 19:15:54 2008
最近溅镀 Al 的 nano-film-------> 50nm~10nm
碰到的问题!!!!!
请问对溅镀机(sputter)很熟的高手
我是使用 RF溅镀
DC-Bias C-T (C-Tune) C-L(C-Load) 三者之间有什麽关系???
尤其对活性较强的金属--Al
谢谢!!!
~~~~感恩~~~~~
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◆ From: 218.32.241.162
1F：推 a7776041:我只记得C-T和C-L是为了降低阻抗 溅镀效率会比较好@@ 04/26 20:36