作者grayalien01 (怕冷企鹅)
看板Master_D
标题Fw: [材料] 关於XPS的峰值校正问题!!
时间Mon May 6 11:44:24 2013
※ [本文转录自 ChemEng 看板 #1HXe5Hvv ]
作者: grayalien01 (怕冷企鹅) 看板: ChemEng
标题: [材料] 关於XPS的峰值校正问题!!
时间: Sun May 5 23:57:02 2013
如题
最近尝试要把送样的XPS试片数据fitting峰值
(样品为氮化锆、氮氧化锆、氧化锆等薄膜)
我去查了一下，好像fitting之前要做校正
我的试片有先做Ar预溅击约5分钟，所以应该是用Ar峰值做校正(242 eV)
比方说试片(一)
我去查了一下数据，Ar的高解析能谱图，XPS管理员帮我简易估了一下大概是242.612 eV
(所以我全部的数据的能峰值照理说都要减掉0.612 eV)
可是当做完校正後(扣完0.612後)，我发现试片(一)的图要fitting时反而变得很诡异
所fitting出来的能峰值都跟文献差的更远，不校正好像还比较接近文献值= =
(如果不要校正fitting出来的峰值位置还比较接近我搜寻的文献)
我尝试过把Ar本身的能谱图拿出来fitting，想说管理员粗估可能会不准
结果一fitting出来是243.25，偏了1.25 eV更多= =|||
(Ar我只放一根peak去fitting，虽然是用Ar溅击，但其实Ar的高解析能谱图强度也不高)
(Ar的高解析能谱的图很粗糙(rough)，可以看到很多锯齿)
所以...到底是...
(1)现在我是不是乾脆都不要校正直接fitting好像还比较好...= =
(2)改用碳(C 284.6 eV)去校正，可是都预溅击过了用C校正会准吗??
(3)我校正方式错了
(4)文献一堆人根本也忘了校正就fitting了??
恳求各位高手帮忙了~QQ
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◆ From: 140.120.135.244
1F：推 zarya120:应该是用C来校正 122.146.81.207 05/06 05:38
2F：→ grayalien01:Z大那我应该用预溅击前的C校正罗??140.120.135.244 05/06 10:00
3F：→ grayalien01:因为溅击後C的高解能谱图强度变得比Ar140.120.135.244 05/06 10:00
4F：→ grayalien01:的更弱140.120.135.244 05/06 10:01
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※ 转录者: grayalien01 (140.120.135.244), 时间: 05/06/2013 11:44:24