作者monkeyorz (singnang)
看板Master_D
标题[请益] BOE会吃蓝宝石基板吗?
时间Sun Oct 26 03:34:13 2014
各位大大好
我有一片GaN on Sapphire的片子
因为用MBE成长GaN故需要在Sapphire侧镀钛
现在片子长好後想将那层钛去掉
已知BOE会吃钛
无奈吃的速度太慢
(之前GaN on GaN的片子泡了快一天才将钛吃乾净)
这次也想将GaN on Sapphire这片用泡BOE的方式去钛
但因为Sapphire即Al2O3，猜测会被BOE蚀刻
Google的结果只有一篇中国的有写到Sapphire substrate是Alpha Al2O3
晶体节结构不同，所以不会被BOE蚀刻
但我对26的言论持保留态度
因此想问版上的各位大大有没有类似经验?
蓝宝石基板到底会不会被BOE蚀刻?
谢谢
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1F：→ wzmildf: 可以顺便请问一下BOE吃Ti的速度大概多少吗? 之前吃多厚? 10/27 02:10
2F：推 asumawei: 应该是不会 我泡一天都没事 10/27 03:06
3F：→ luckyluck: no 10/27 03:34
4F：→ monkeyorz: 谢谢解答 至於蚀刻速率我不清楚 因只是为了把钛吃乾净 10/27 16:19
5F：推 javis: 加热BOE勒? 10/27 21:51