作者aplasmaman (想爱~却怕你受伤害)
看板NEMS
标题[问题] 请问蚀刻金跟铬...
时间Mon Dec 22 18:09:52 2008
小弟目前有一片wafer 上面镀有氧化锌，氧化锌上面有铬跟金做的电极
可是做坏了想洗掉，想请问怎样才可以除掉金跟铬又不伤害氧化锌呢?
要用专属的蚀刻液，还是有什麽溶液可以把全部的金属一起洗掉?
那这样的溶液会蚀刻到Si 或 氮化矽吗?
万分感谢~
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◆ From: 140.112.38.83
1F：推 Timsteven:不就用碘酒跟CR7嘛~ 12/22 18:16
2F：推 Ice98:Si和Si3N4很强壮的 XD 12/22 20:07