作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] E-gun镀金属的 "非等向性" 如何?
时间Thu Mar 26 00:36:08 2009
究竟E-gun镀金属出来的轮廓是比较像哪一种的?
conformal 还是 anisotropic?
或是介於两者之间??那比较偏向哪一边呢?
我的意思是说如果今天我镀50奈米的Cr好了
那对於垂直壁来讲 它大概会被镀上几奈米降子??
希望有经验的使用者能分享给我一下 谢谢
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◆ From: 61.228.103.41
1F：→ vanll23:照理论来讲 侧壁是不会镀上去的 因为准值性很高 04/06 14:48
2F：推 quaintness:镀过100um厚度的SU-8,侧壁镀得上去,不论载具是公转自转 04/07 07:25
3F：→ quaintness:或仅公转，沈积厚度到一定程度侧壁可以明显看得出来 04/07 07:26