作者luckykey (想学(玩)吉他阿)
看板NEMS
标题[问题] 热蒸镀SiO2问题
时间Tue Mar 30 15:18:45 2010
如标题
小弟我有使用热蒸镀机蒸镀SiO2厚度5~10nm
想问版有使用热蒸镀方式蒸镀SiO2会不会因为加热的关系
造成SiO2到样品上会有蒸镀上的问题(诸如样品变质之类的)
因为材料毕竟不是金属
单纯要镀上SiO2其实溅镀比较好
不过碍於仪器问题，所以还是会使用热蒸镀来尝试
实验室这方面经验比较少
所以想请问是否有人有碰到类似问题
热蒸镀SiO2需要特别注意哪些细节
谢谢
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◆ From: 140.121.98.198
1F：推 s75287:PECVD? 03/30 15:24
2F：→ luckykey:Thermal Coater 03/30 15:32
3F：→ leox243:第一次听到用热蒸镀来镀OXIDE... 03/30 17:35
4F：推 paullai:Oxide熔点很高吧? 03/30 17:55
5F：→ paullai:沸点也很恐怖? 03/30 17:56
6F：→ ewings:能够耐到那温度的钨舟,我还真想看看会不会比黄金贵... 03/30 18:48
7F：→ luckykey:结论就是千万不要用热蒸镀 谢 03/30 19:52
8F：推 xcent:我们lab都用e-gun在镀SiO2，加热好像会让SiO2的致密性更好 03/30 22:43
9F：推 s75287:我想说为什麽不用PECVD...XD 03/31 14:16
10F：推 Jinuse:用e-gun镀oxide还挺常见的吧 NDL很多机台可以用 03/31 20:25
11F：→ Jinuse:直接用thermal镀的话我就没经验罗 看一下奈米中心网页 03/31 20:25
12F：→ Jinuse:人家可以的话你就可以罗 03/31 20:26
13F：推 saram:用电子枪蒸镀. 温度高, 易控制. 04/11 13:28