作者kenhcterw (click)
看板NEMS
标题Re: [问题] 微流道的上盖是ITO
时间Tue Apr 13 20:55:02 2010
果然如我所预料的...
我是先把ITO 玻璃放到SU-8 上
再倒PDMS
为了怕有些空气被PDMS 封住，我拿去抽真空
推测PDMS 就是在抽真空时"渗"进SU-8 与ITO 间
造成在撕起来的时候会有一层很薄的PDMS 於ITO 上
如果这时没有烤久一点，那一层薄的PDMS会很难乾@@
目前结论就是...想做这样的事，良率会很低...
目前正在构思避开此问题的方法@@
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 118.169.37.253
1F：→ Looming:你先PDMS多次抽真空把空气先抽乾净再上试看看阿 04/13 22:51
2F：推 lockq:我同意楼上的说法 德国学长都这样做 不把元件放进去抽真空 04/17 04:27
3F：→ lockq:另外你有考虑先用一种东西让ITO确定跟SU8(小上盖),然後再用 04/17 04:28
4F：→ lockq:PDMS做你真正的上盖吗？ 04/17 04:28
5F：推 lockq:或是把你的东西倒过来放 让重力使PDMS不渗进去 04/17 04:31