作者johsieh (ii)
看板NEMS
标题[问题] anneal temperature
时间Mon Apr 19 08:10:25 2010
请问
为什麽 p type dopant 所需的 anneal temp. 会低於n的呢?
谢罗~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 128.227.2.41
1F：→ modernpkman:由高温->低温吧 制程顺序? 04/23 01:05
2F：推 oax:因为P dopant尺寸较小,较易扩散 05/01 10:38