作者blue901031 (bluebrain)
看板NEMS
标题[问题] AZ5214反转烤
时间Wed May 19 12:34:37 2010
各位先进好
最近在试光阻lift off的效果
想尝试用AZ5214反转成负光阻来做
但始终找不到相关资料
不知版上是否可以提供相关资讯及方法呢
谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.127.25.85
1F：→ leox243:GOOGLE 5214 光阻 反转，开头几篇硕论里面都有写了 05/19 21:02
2F：推 Ice98:我觉得重新把光罩出成负片比try黄光来得有效率 05/19 21:34
3F：推 s75287:搞不好原po已经出成玻璃光罩了... 05/19 22:10
4F：→ blue901031:因为要镀的薄膜厚度很薄，希望用薄光阻做 05/19 22:22
5F：→ blue901031:THX 243大，已找到需要资讯，之前一直用错key word 05/19 22:54