作者bahn (简大头)
看板NEMS
标题[请问] 有关於晶圆wafer的空白带
时间Sun Oct 17 18:02:04 2010
※ [本文转录自 ask 看板 #1CkiQ2D5 ]
作者: bahn (简大头) 看板: ask
标题: [请问] 有关於晶圆wafer的空白带
时间: Sun Oct 17 17:48:47 2010
请问熟知晶圆制程的大大们
为何有的晶圆片中间会有俗称"眼睛"的空白带
而有的却没有呢？
烦请知道的大大们告知，谢谢～！
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.25.178.180
1F：→ amadisyeh: 去科技板比较有人知道 10/17 17:54
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◆ From: 114.25.178.180
2F：推 paullai:有些说是Align key或者是PVM区域；也有说法是放一些 10/17 18:45
3F：→ paullai:process 用的pattern、Test die 等等 10/17 18:46
4F：→ panzerfausty:楼上大大所言甚是,不过原PO问的是"眼睛",一般而言"眼 10/17 22:53
5F：→ panzerfausty:睛"应是缩限至alignment mark,所以无须经stepper/ 10/17 22:56
6F：→ panzerfausty:/scanner多层光罩对准的晶圆就不会有"眼睛". 又部分 10/17 22:57
7F：→ panzerfausty:aligner没有用到如此精准的aligment system,则即便有 10/17 23:00
8F：→ panzerfausty:数层光罩对准需要也无须另行制作"眼睛". 10/17 23:01
9F：推 paullai:原来如此!! 感谢楼上~!! 10/17 23:23