作者zxcvoice (cc)
看板NEMS
标题[问题] 深蚀刻矽的公司
时间Thu Jan 5 21:21:53 2012
请问
有人知道可以用ICP做 深蚀刻wafer的公司吗
大概是 直径 30~100um 不等的圆形pattern
然後 用ICP (bosch process) 下去蚀刻100um~300um 不等
wafer 整类为 4寸 如果可以进破片(贴在载片上)更好
ps 除了 NDL以外的公司
感谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.217.74
1F：推 Ice98:仪科中心和工研院都有, 不过都不收破片 01/05 23:25
2F：推 s75287:台大? 01/07 07:47