作者medo ( )
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标题[问题] 奈米压印
时间Wed Apr 4 15:32:32 2012
大家好
不知道有谁做过奈米压印
想请教一些问题
我的模具是14mm*14mm大小的矽奈米柱阵列
呈hcp排列
柱子的直径约100nm至600nm
周期是200nm至1um
高度约150nm~200nm
压印的阻剂是PMMA 4A 950k
旋涂在约20mm*20mm 的基板上约200nm厚
压印使用的机台是obducat 3.0 NIL imprinter
目前压印的结果无法将14mm*14mm 完全转印至20mm*20mm的基板上
只有部分区域能转印上去
想问的问题是
难道用硬模无法做大面积的转印?(我的sample也没有很大...)
还是说参数或实验过程有什麽地方需要注意而我没有注意到
感谢有缘人的解答!!
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◆ From: 140.112.24.193