小弟我目前利用SU-8 3100 (PerMX)制作结构 厚度为500um 即100um的乾膜热压五层 现在在黄光的步骤遇到很大的问题 已经做了很长的时间 一直无法突破 希望有经验的前辈能够给予指点 目前遇到最大的问题是 常常底部应该显掉的部份显不掉 如果再继续显影 会发生底部吃掉了 但是结构上半部与边缘已经过显了 於是推测应该是曝光剂量过重 但是如果再减少曝光时间 又会发生曝光剂量过轻 整个结构掉下来 现在最好的参数是 曝光时间5分钟(加滤镜) 曝後烤30分钟 每次显影都要将近1~1.5小时 但是仍然会发生底部显不掉的情形 我已经不知道该调整哪个参数了 麻烦有经验的学长能够给予一些指导 感激不尽!!! PS 这个材料实验室没有人用过，所以我也只能自己试，无计可施之下才来版上问 希望能够得到一点帮助，谢谢!!!! --

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