作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] su8乾膜曝光
时间Tue Apr 17 18:04:47 2012
我没做过那麽厚的SU-8
但我对薄SU-8的经验，只要是cross-linked後的SU-8(即曝光与铺後烤後)，
是相当坚韧的一种材料，怎麽显都显不掉(跟正光阻不同)
很难会有所谓"过显"的发生。在显影时会发生结构崩坏几乎都是因为未有cross linked
根据你的描述我会认为一律是曝光时间不足。
所以我会建议你继续增加曝光时间。
另外有时候该被显掉的地方显不掉，我会觉得是光罩(网片)不够力，不够黑，
仍有少许光强透过导致曝光。不过你既然是下方显不掉，而且持续显得化即能成功，
那应该不是这个问题。
我有看过文献，有些做厚SU-8的group会在显影时佐以超音波震洗，
给您参考一下。
结论就是 1. 增加曝光时间 2. 显影搭配震洗
※ 引述《GOGOGOBANANA (猴子不要来!!!)》之铭言：
: 小弟我目前利用SU-8 3100 (PerMX)制作结构
: 厚度为500um 即100um的乾膜热压五层
: 现在在黄光的步骤遇到很大的问题
: 已经做了很长的时间 一直无法突破
: 希望有经验的前辈能够给予指点
: 目前遇到最大的问题是
: 常常底部应该显掉的部份显不掉
: 如果再继续显影 会发生底部吃掉了 但是结构上半部与边缘已经过显了
: 於是推测应该是曝光剂量过重
: 但是如果再减少曝光时间
: 又会发生曝光剂量过轻
: 整个结构掉下来
: 现在最好的参数是
: 曝光时间5分钟(加滤镜) 曝後烤30分钟
: 每次显影都要将近1~1.5小时
: 但是仍然会发生底部显不掉的情形
: 我已经不知道该调整哪个参数了
: 麻烦有经验的学长能够给予一些指导
: 感激不尽!!!
: PS 这个材料实验室没有人用过，所以我也只能自己试，无计可施之下才来版上问
: 希望能够得到一点帮助，谢谢!!!!
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本球队一切依法行政，谢谢指教。
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◆ From: 140.116.84.239
1F：推 TreeMan:请问有甚麽情况下震洗会不好吗？我都是震洗，但之前有听说 04/17 22:50
2F：→ TreeMan:震洗有时会让pattern飘起来~ 04/17 22:51
3F：推 ghosthell:楼上要看结构还有超音波的频率 04/18 07:41
4F：→ SkyLark2001:说真的我没开过震洗，但我会猜测飘起来的还是因为曝 04/18 17:27
5F：→ SkyLark2001:光不足。纯猜测，可以自行试试看 04/18 17:28
6F：→ SkyLark2001:曝光不足或 substrate没洗乾净烤乾等等 04/18 17:58
7F：推 minitai0616:pattern被震落也有可能是硬烤时间不够就显 04/20 02:31
8F：→ minitai0616:应该是说曝後烤时间不足 04/20 02:33
9F：→ SkyLark2001:恩恩没错，结论就是crosslinking做到好，SU-8就可以是 04/20 11:10
10F：→ SkyLark2001:超强的结构 04/20 11:10