作者weisuan (116菸酒生)
看板NEMS
标题[问题] lift-off 镀金去除的问题
时间Sun Apr 29 14:07:27 2012
小弟我实验室
原本是用JSR做电极图案(电极宽200um最小的地方100um)
但因为一些事现在跟换成AZ1518做电极图案
别人给小弟的参数如下
STEP1 500 rom 5S
STEP2 1500 rpm 20S
软烤 100度 3min
曝光 20s (OAI-500)
显影4分钟
镀金(约50nm)
泡丙酮
做出来结果长这样
http://www.wretch.cc/album/album.php?id=ghjkacda&book=12
电极旁边的金无法正常脱落
摇晃或者用震荡器摇
结果都是图型全毁
有没有哪位
知道这种情形刚整麽处理的
在想说要不要把光阻厚度加高不知道有没有用
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作者 NavierStokes (那维亚) 看板 graduate
1F：推 howardfang:看到这ID不得不推了!!!11/02 20:36
2F：推 ByronX:看到ID差点腿软11/02 22:05
3F：推 LittleIe:ID 怎麽了 不懂?11/02 22:36
4F：推 deatherpot:拿这ID google就知道了XDDD11/02 22:47
5F：推 cctina:我估狗了然後我赶快关掉网页....= =11/03 01:34
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.120.24.59
6F：→ yasuhiro:AZ5214E 用一次就爱上它! 04/29 14:24
7F：推 pttresident:玻璃基板？ 04/29 21:02
8F：推 liweits:有没有先镀Cr or Ti? 04/29 22:25
9F：推 astushi:我显影完会硬烤 04/29 23:43
10F：→ weisuan:嗯玻璃基板 04/30 08:57
11F：推 scorpiom6:叠两层.第一层先全部个几分钟看看吧XD 04/30 10:35
12F：推 pttresident:上面有人问了，你有没有先镀Cr或Ti，帮助Au附在玻璃上 04/30 23:56
13F：推 jianhung:借标题问一下 Au如果要镀在Si wafer上 05/01 00:01
14F：→ jianhung:Ti或Cr哪个比较好? 05/01 00:02
15F：推 Jeffch:看照片很像是金属在oxide上面adhesion的问题 05/01 02:14
16F：→ Jeffch:to 楼楼上~如果是要增加adhesion两种都不错 05/01 02:15
17F：→ weisuan:结果最近用4620成功了~老师说1518先丢旁边了 05/07 11:11