作者magicmike (magic)
看板NEMS
标题[问题] JSR 126N光阻上溅镀Cu有龟裂现象
时间Sat May 19 00:23:55 2012
JSR 126N光阻上溅镀Cu有龟裂现象
溅镀功率50W Ar 35sccm
溅镀完成时没看到有龟裂现象
但是在做完第二层光组(JSR 126N)时
软烤的时候发现底部PR有龟裂现象
原因不明
单层铜溅镀在Si上都不会
有人可以帮我解答或遇过吗?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 123.194.137.9
1F：推 Jeffch:通常是温度关系，有些人会倾向用有cooling holder的设备 05/19 05:25
2F：→ Jeffch:否则就是要调整sputter的参数 05/19 05:26
3F：→ magicmike:多谢 05/21 00:51