作者jam46 (巴纳猴)
看板NEMS
标题[问题] 氮化镓与PDMS bonding
时间Wed May 23 15:54:42 2012
前两天碰到一个有趣的case.....
别的老师的实验室想做 GaN 和 PDMS bonding，前来向我们lab求援
(我们lab满常在做 PDMS bonding 的，但对象一般都是跟 Si/glass/PDMS 这类材料)
我请他们准备平坦且清洁过的 GaN 试片，PDMS 块我也准备好了
但..... 打完氧电浆，两者贴合，甚至再放进 60 度烤箱烤半小时
结果都还是 bond 不起来，感觉就像 PDMS 压在玻璃上一样，一剥就开
请问板上有人有做过 GaN 和 PDMS bonding 的吗？
我们实验室主要是做微流道跟细胞实验，所以小弟对氮化镓这材料也不熟
这两种材料能产生键结吗？或是氧电浆的功率需要调高or调低？
麻烦前辈们赐教....感谢！
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