作者asd1217911 (阿潘)
看板NEMS
标题[问题] SU-8 50 与100
时间Wed May 30 16:27:59 2012
您好
目前使用SU-8 50和SU-8 100
想制作100~125微米高度的结构
目前使用700转(SU-8 50)和2000转(SU-8 100)做~
高度都差很多~
80~110微米 (SU-8 50) 60~80微米(SU-8 100)
其实依照厂商提供的资料~2000转(SU-8 100)的高度应该为150微米
但实际做出来却差很大
此外~高度没关系~我慢慢试SU-8 50可以~
但是~最近做出来的结构~
结构看出来有部分反光~感觉像脱离基材~使用PDMS翻模就脱落了(基材为玻璃)
请问脱落的情形要使用什麽方法解决~有可能是曝光不足还是过曝?
有爬文看过~目前会先使用氧电浆清洗机过再试试看~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.39.157
1F：→ hoodstrike:厂商给的data sheet真的只是参考 上网找相关paper吧 05/30 18:28
2F：推 SkyLark2001:其实我觉得整个Su-8 datasheet里面最准的就是厚度 05/30 22:47
3F：→ SkyLark2001:用150转700rpm只有那种厚度，肯定某方面出了问题... 05/30 22:47
4F：→ HIDEI524:可能跟最後曝後烤或是硬烤有关 06/01 18:29
5F：→ HIDEI524:之前有过直接马上降低温度结果SU8整个脱落 囧 06/01 18:30