作者foolphen (枫儿)
看板NEMS
标题[问题] PMMA溶液配方
时间Thu Jul 5 11:42:50 2012
要配置PMMA溶液 spin coating後的厚度大概100nm
请问该选择分子量120K或是996K的?
另外想请问调配的参数 和 spin coanting转速 和 Baking的温度
这些要去哪里查?
查了好久的查不到详细的资料
希望有在做这个领域的朋友可以帮帮忙>"<
谢谢!!
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◆ From: 140.112.231.181
1F：推 Jeffch:MicroChem网站上就有资料了... 07/06 04:13