作者Rappy ()
看板NEMS
标题[问题] 请推荐最好做lift-off的正型光阻
时间Thu Aug 16 15:33:42 2012
请问各位板友有没有推荐容易lift-off且容易以O2 plasma去除的"正型光阻"？？
因为实验室最近在尝试制作小线宽的电晶体
在几十奈米的线宽下 试片本身禁不起超音波震荡或是用刷的来做lift-off
之前使用的AZ-5214做出来的效果不是很满意
所以来请问看看大家有没有建议的光阻
谢谢!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 1.169.167.45
1F：推 pttresident:IEEE Trans. Electron Devices vol. 52 p. 1874 08/16 23:43
2F：→ pttresident:参考一下？ 08/16 23:43