作者bear100 (bear)
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标题[问题] ZnO sputter & evaporator
时间Wed Aug 22 13:58:00 2012
最近在镀ZnO的时候有点问题
想请教板上的先进
我是要长ZnO水热法，先度上一层seed layer
在镀ZnO的seed layer时，用evaporator 和 sputter差很大
首先
evaporator的部分没有通O2 但是镀出来的测镀片会有铁灰色
以氨水的水热方式是可以长出来的
Sputter的部分也没有通O2 但镀出来模式偏绿色的
应该是缜密度的差别，可是在氨水环境下膜就整片被吃掉了
想请问一下，为什麽会被吃掉呢?
是因为我sputter出来的膜不是ZnO吗?还是O-vacancy让Zn(+2)被氨水反应掉吗?
先谢谢前辈了
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.41.167
1F：推 nevinyrrals:蒸镀的可能会有zinc金属出现 08/22 14:59
※ 编辑: bear100 来自: 140.115.41.167 (08/22 17:19)
2F：→ bear100:是有可能 没有打元素分析不太知道 只是sputter太夸张 全 08/22 17:20
3F：→ bear100:部被吃光了.. 想问问有没有人有经验 08/22 17:20