google 另外要说的是 在台湾都称AZ4620 但他原名是AZ-P4620, 是AZ这家公司 "P4000"系列中最受欢迎最广泛使用的一支厚光阻 所以你若是打az4620, 比较较不容易查到原厂的第一手资料。 http://www.clean.cise.columbia.edu/process/P4000vfr1.pdf 另外想说的就是这类曝光剂量就跟厚度转速比, 软硬烤温度时间表等等是一支光阻中最 基本最重要的资讯，若你迅速瞄一眼, 所看的data sheet没这种资料表是你多半看到了 Material Safety Data Sheet (MSDS) 了 ※ 引述《kevinho0603 (LockerWei)》之铭言： : 请问各位大大 : 小弟第一次接触MEMS : 想请问一个可能大家会觉得很蠢的问题 : 请问 : 应该大家都知道这公式 : 曝光秒数=曝光剂量(mJ/cm2)/照度(mW/cm2) : 照度用照度机量测对吧 : 我想知道曝光剂量怎麽知道的 : 是要看光阻?还是机台?还是用算的?? : 不然我没办法知道要曝光多久啊..... : 请位大大教教我 -- 本球队一切依法行政，谢谢指教。 --

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