作者ak43gh7py (憨廷)
看板NEMS
标题[问题] 玻璃蚀刻
时间Tue Sep 25 10:38:21 2012
最近打算用BOE蚀刻载玻片，以做出所要的图案(正面用AZ4620当作阻档层)，
请问一下，BOE会侧向蚀刻载玻片吗?sample放进去BOE溶液中，背面不就也被蚀刻了，
这有没有什麽解决方式?谢谢大家!~
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◆ From: 140.120.105.45
1F：推 jeffdon2:1.会侧向蚀刻 2.背面用耐热胶带完全贴住就可以挡了 09/25 11:21
2F：→ ak43gh7py:谢谢喔!~ 09/25 14:50
3F：→ ak43gh7py:想请问j大那边有没有boe蚀刻玻璃的速率参数? 09/25 15:55
4F：推 jeffdon2:找BOE蚀刻SiO2的速率就是了，可能略有差异 09/25 16:30