作者bhchad (新生代台劳)
看板NEMS
标题Fw: [制程] 上完光阻显影後放一天!
时间Thu Nov 8 23:22:29 2012
※ [本文转录自 ChemEng 看板 #1GcyrsuR ]
作者: bhchad (新生代台劳) 看板: ChemEng
标题: [制程] 上完光阻显影後放一天!
时间: Thu Nov 8 23:19:13 2012
想问一下版友
若是做制程时
sample上完光阻
也曝光 显影了
原本按理说应该是继续下个步骤
如:电子蒸镀金属上去 再lift-off之类的
如果我sample显影後
隔了一天在做蒸镀
会有不良影响吗??
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◆ From: 114.45.108.235
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※ 转录者: bhchad (114.45.108.235), 时间: 11/08/2012 23:22:29
1F：推 ak43gh7py:我本身搭配超音波震荡器使用，没有太大影响 11/11 00:46
2F：推 HDview:很难讲.... 11/12 01:34
3F：推 SkyLark2001:我放好几天没有问题，老实说有问题的话其实都是黄光 11/12 17:55
4F：→ SkyLark2001:本身的问题。不过我会在镀金属前放进RIE用 O2 11/12 17:56
5F：→ SkyLark2001:plasma descum一下，比较心安 11/12 17:56