作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] 负光阻问题
时间Mon Nov 12 17:39:13 2012
使用Futurrex公司的负光阻 NR71-1000PY 或之类的型号(厚度约 1 micron)
可以连络Futurrex的台湾代理商亚俊公司
詹先生
[email protected]
Futurrex的所有负光阻对应的显影液都是同一种 : RD6，不会买错
联络詹先生说要sample, 请他卖给你小罐的。
光阻加上显影液，一万元内搞定，一周内就会寄到，大胜你重做光罩
Futurrex的薄负光阻显影起来recipe简单，成果又是要漂亮就有多漂亮。
也完全不需要使用HMDS或是P-20这类Primer，黄光的方便实用程度不输台湾学界常用
的薄正光阻S1813 or S1818
既然求学生涯有机会拿老师钱玩个负光阻，就来玩玩啊。
※ 引述《bb0303 (ZZZ)》之铭言：
: 各位好
: 因为光罩上图形已经定为要使用负光阻来做 (被照到的图案要留着)
: 然而学校内只提供正光阻
: 制程上是分别镀上 Cr/Au/Ni 後再把光阻去除
: 之前有听说lift-off 使用负光阻较佳...所以画光罩图形就做成要使用负光阻
: (实际上正光阻也可以啊囧，一个多月前的小弟还懵懂无知...现在也没多好啦)
: 小弟也没有学长可以带 很多事情都自己摸索
: 想请问有经验的板友、学长们 (我应该没办法可以改变必须要用负光阻的事实了吧?)
: 那我要使用何种负光阻比较好，便宜可用就好 (实验室很穷阿)
: 然而要跟哪家厂商购买呢?
: 感谢回答~!!!
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本球队一切依法行政，谢谢指教。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 24.17.242.187
※ 编辑: SkyLark2001 来自: 24.17.242.187 (11/12 17:43)
1F：推 bb0303:谢瞜!如果还有机会的话@@ 老师就是钱不多不能乱搞阿~"~ 11/12 17:43
2F：→ SkyLark2001:NDL做光罩不是要五万，然後好几个月吗? 11/12 17:44
3F：→ Colula:五万= =,5um线宽找中央作便宜多了 11/15 01:35
4F：推 pttresident:有计画的话，交大或NDL做光罩记得只要付10%就好 11/15 06:53
5F：→ pttresident:然後4寸光罩给交大做有时不到一个月就可以拿到了 11/15 06:53
6F：→ pttresident:5万可做很多的光罩 11/15 06:54