作者cccWccc ()
看板NEMS
标题[问题] 镀SiO2的方法
时间Sun Feb 24 00:55:52 2013
镀SiO2方法有多多种 查了一下
有 蒸镀 溅镀 PECVD 等等
想请教一下 这几种发法镀出来的SiO2膜
个别的材料特性会是如何呢
1. 沉积时会有结晶构造(石英)或是某方向的对称性吗 还是没有(纯粹随机 等向性材料)
2. 如果是等向性的话 薄膜的材料特性如密度 弹性常数等 是否会跟一般
查到的 SiO2 、 Fused Slica 的常数接近呢 因为听说各个方法或技术好坏
镀出的薄膜"致密度"会不同 这似乎就暗示了薄膜的力学性质(密度 弹性)会不同
由於小弟要做些声波元件 设计时就使用查到的 Slica 密度与弹性常数来计算
很怕镀出来的 SiO2 材料特性跟他差很多 这样做出来的东西就不能用啦
请教各位学长姐了！
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