作者robin0338 (右脑)
看板NEMS
标题[问题] 制成的poly 或 多晶矽 在OM下的颜色?
时间Thu Mar 21 22:59:34 2013
目前制作的是T18的後制成，而制程中需用到ICP打掉背後的substrate。
在设计时有加入poly层，原本poly层在我的设计中是保护层，
但在ICP时，会蚀刻掉poly 多晶矽。
所以想知道poly 在OM下的颜色，在蚀刻到poly的时候便停止ICP。
想请问各位有无遇到此情况??
「过程可能是打ICP一个cycle，便去OM下看是否打到poly。」
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◆ From: 1.34.92.111
1F：推 conway4:poly color不是depends on THK. 03/22 04:11