作者robin0338 (右脑)
看板NEMS
标题Re: [问题] 制成的poly 或 多晶矽 在OM下的颜色?
时间Fri Mar 22 12:45:45 2013
※ 引述《robin0338 (右脑)》之铭言：
: 目前制作的是T18的後制成，而制程中需用到ICP打掉背後的substrate。
: 在设计时有加入poly层，原本poly层在我的设计中是保护层，
: 但在ICP时，会蚀刻掉poly 多晶矽。
: 所以想知道poly 在OM下的颜色，在蚀刻到poly的时候便停止ICP。
: 想请问各位有无遇到此情况??
: 「过程可能是打ICP一个cycle，便去OM下看是否打到poly。」
poly 是否跟silicon一样，是依据厚度来判断颜色。
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