作者robin0338 (右脑)
看板NEMS
标题[问题] SU8 3025
时间Sat Jun 15 15:15:14 2013
最近想用SU8 3025 将蚀刻孔封住，但需要黏稠度不能流进蚀刻孔内。
也就是希望SU8 会在蚀刻孔上有表面张力，而不会流到蚀刻孔里。
我查SU8 datasheet里面有 Viscosity 这项参数。
想请问是否有办法推倒公式，或是有这方面的资料。
蚀刻孔径为:10um 左右
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