作者bb0303 (empty )
看板NEMS
标题[问题] LPCVD氮化矽蚀刻
时间Wed Nov 13 19:39:24 2013
想请问版友
有没有人用LPCVD长过氮化矽
然後尝试用不同浓度的HF蚀刻过?
感谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.165.40
1F：→ himmel:我用过新竹NDL的LPCVD长nitride 厚度1000A 11/15 01:39
2F：→ himmel:然後用49%的HF 20~30分钟吃光光 没比较过不同浓度的HF 11/15 01:40
3F：→ bb0303:OK 感谢!! 11/18 13:17