作者fap970716 (路人甲)
看板NEMS
标题[问题] ITO玻璃上打Plasma
时间Sun Dec 15 23:46:35 2013
大家好
想请问一下大家有没有在ITO玻璃上打plasma的经验或办法呢?
实验室之前都是直接用盖玻片和PDMS一起打plasma
链结上都没有问题
但我自己的实验需要在盖玻片上先上一层ITO玻璃
打plasma之後却发生链结不稳的情况
打完plasma都还黏的住，但是灌水之後PDMS就跟玻璃分开了
不知道需要先做过什麽处理办法?还是功率不够高呢?
谢谢大家!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.43.3
1F：推 balaboo123:打过 但ITO上长不出氢氧建 所以无法预pdms bonding 12/16 00:05
2F：→ balaboo123: 键 与 12/16 00:06
3F：→ balaboo123:无论功率或是秒数 似乎都调不出可以bonding的组合 12/16 00:06
4F：→ balaboo123:之前因为看到某学校step是这样做而尝试... 12/16 00:07
5F：→ balaboo123:目前所知道可行的方法是 PDMS bonding面积底下 12/16 00:08
6F：→ balaboo123:将部分ITO蚀刻掉 让玻璃裸露出来打plasma 12/16 00:09
7F：→ balaboo123:再利用裸露部分进行接合 但要看你的设计允不允许了 12/16 00:10
8F：→ balaboo123:如果你有其他化学改质的方法 也许可以不用蚀刻 12/16 00:11
9F：推 s75287:ITO表面再PECVD上一层非常薄 oxide 也是可以的.... 12/16 00:50
10F：→ fap970716:谢谢两位!!我再试试看!! 12/16 19:30