作者hsnulight (台大东方翔)
看板NEMS
标题[问题] 乾蚀刻ITO
时间Fri Jun 27 16:16:00 2014
如题
最近希望利用RIE蚀刻ITO
不过查了一下大部分好像都会用到CH4来蚀刻
但这边实验室的RIE好像都没有CH4这气体
请问板上有人有用过其他气体蚀刻吗?
另外我的ITO厚度25nm
光阻则是1-2um 所以选择比不是那麽高的气体也可以
感谢!
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1F：推 s75287:我用Chlorine...XD 06/27 19:17