※ 引述《jack30127 (龙)》之铭言： : 标题: [问题] 请问是否有AZ4620专门的去光阻液 : 时间: Thu Nov 12 12:21:34 2015 : : -- :

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 140.117.156.77 : ※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1447302096.A.7D1.html : → homesa: AZ400K? 11/12 14:11 : 推 SkyLark2001: Acetone不就行了吗? 11/12 15:58 : → jack30127: AZ400K不是显影液吗@@? 可以用来当作去光阻液使用? 11/13 01:01 : → jack30127: 我是有考虑过丙酮 可是我有看到有很多人使用丙铜去冲 11/13 01:02 : → jack30127: SU8时还是会发生SU8脱落的情形 11/13 01:03 IPA 或是ACETONE是目前最佳解 IPA缺点是对AZ很有可能不够力。你可以丢进超音波振洗里面振个几个小时(举例)， 说不定就真的成了。 至於acetone 就理论上而言fully cross-linked SU-8是不会(或只有些微)融於ACETONE的 我会说"理论上"是因为我仔细想想，发觉我这辈子好像还真没有把显影好的SU-8 丢进acetone过。 至於SU-8在acetone会脱落的可能原因也有好几种，比方说曝光剂量不够导致没有 Fully cross-linked 或是baking的时间或温度不够导致显影後的SU-8中还是含有一定量的溶剂 另外也要考量到放到Acetone的瞬间大量吸/放热，thermal-expansion导致的 thin film stress而产生的delamination，这些都很有可能是主要原因 --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 98.237.255.88 ※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1447362972.A.307.html