作者warnerwu (warner)
看板Physics
标题[问题] 半导体制造与温 湿度的关系?
时间Mon Apr 30 21:26:42 2012
教授出了一个作业，关於半导体的制程环境，
但不是很了解为何半导体的生产环境需要严格的
控制温度和湿度
网路上查到的资料说 半导体在趋近於零K时，电阻为无穷大，
随着温度增加释放出自由电子，电阻因而下降，导电度提高，
而又有资料说明半导体会随着温度过高而提高其电阻，
请问是否半导体电阻值会随着温度升高先降低而後又提高呢?
这样半导体是不是会有一个电阻值最低的温度范围啊?
还有一个问题是湿度会如何影响半导体的生产过程呢?
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◆ From: 111.240.115.198
※ 编辑: warnerwu 来自: 111.240.115.198 (04/30 21:27)
※ 编辑: warnerwu 来自: 111.240.115.198 (04/30 21:28)
1F：推 jerry78424:先了解半导体元件是怎麽制作出来的.. 04/30 22:01
2F：推 CJWUKNIGHT:我只知道柴氏长晶法 04/30 22:22
3F：推 VicLien:在高低温的时候 湿度高低会不会有影响 曝光多了一滴水怎办 04/30 22:40
4F：→ VicLien:更别说一堆都要抽真空... 04/30 22:41
5F：推 colin90149:其实我不太清楚你要问的是半导体的制程，还是元件 04/30 23:47
6F：推 jianhung:本质半导体在低温及高温电阻有负TCR，中温是正的 05/01 00:22
7F：→ jianhung:重参杂之半导体一开始具正TCR，高温时会转负 05/01 00:24
8F：→ jianhung:以上是就Si而言，低温高温是多少就要看文献了 05/01 00:26
9F：推 YJM1106:微影制程里 几乎每一段温度都会影响(例：质传速率) 05/01 00:52
10F：推 nevinyrrals:温度对蚀刻制程有很大的影响 05/01 00:55
11F：推 aucourant:我试过半导体温度升高时电阻是下降的和金属相反的 05/03 01:59
12F：推 YJM1106:你标题问制造过程 内容写元件对温度的特性 你想问什麽？ 05/03 07:00