作者Absolitude (别再睡了起床了爱丽)
看板Physics
标题[问题] 磁控溅镀范围
时间Mon Jun 29 04:30:08 2015
╭────────────── 提醒:版规第三条 ─────────────╮
│与作业、报告或课本习题有关的发问文,需於内文注明题目出处、思考脉络和解题│
│瓶颈。问题获得回答後也勿任意删除文章,并适度的向回答者表达感谢之意。 │
╰──────────────────────────阅读後可用ctrl+y删除╯
【出处】(习题或问题的出处)
【题目】(题目的文字叙述,如有图片亦要提供图片)
http://www.polymedia.ch/OpArticles/view/57
借用一下这篇的图Fig. 1
我不太清楚这个现象的中文要怎麽说,所以这里把溅镀定义成靶材的上的现象而不是要镀
东西的基板那里
请问一下为什麽溅镀的范围会落在内外磁极中间的区域(下图蓝色区域下方)
【瓶颈】(解题瓶颈或思考脉络,请尽量详述以利回答者知道要从何处讲解指导)
http://i.imgur.com/I33drqK.png
搞不太清楚溅镀的详细机制,磁极附近(红色区域下方)没有被溅镀倒是因为
1. 磁极附近磁场强导致电子在更远的地方就被反弹了,所以在磁极附近能产生离子的电
子密度低
2. 还是有许多电子分布在磁极附近但是磁场把产生的离子弹开了
3. 其他
如果是原因是1的话要计算不同位置溅镀的程度可以用那个位置上方的电子密度来估算吗?
谢谢~
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 140.114.234.134
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Physics/M.1435523413.A.F84.html
1F:→ yeahbo: 磁控溅镀是利用磁场去把电浆分布聚集,藉以提升溅镀效率 06/30 00:20
2F:→ yeahbo: 电浆会被聚集的原因,是因为靶材有施加负电位会吸引正离子 06/30 00:22
3F:→ yeahbo: 正离子在磁场中运动会受罗伦兹力而转向,最後就聚集在那圈 06/30 00:23
4F:→ Absolitude: THANK YOU 07/05 02:05