作者ansen0988 (Happy Family)
看板Physics
标题[问题] Sputter或Grow discharge的第一颗电子
时间Wed Dec 30 10:40:10 2015
我们知道在sputter内是由离子撞击靶材所造成的scattering做deposition，
想问一下，假如已经达到DC Grow Discharge的电压、压力，第一颗反应的电子是怎麽出
现的呢？
是从target(cathode)克服work function 所出来的吗？还是其他方法呢
有文献资料、或是教科书，也可以提供一下喔
谢谢各位大大
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1F：→ yeahbo: 应该是从Ar被游离跑出来的吧？ 12/30 12:27